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品牌Hakuto 有效期至長期有效 最后更新2020-12-18 08:59
均勻性±5% 硅片刻蝕率20 nm/min 離子源Φ20cm 考夫曼離子源
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Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J

上海伯東日本原裝進口適合大規模量產使用的 Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J, 無論使用什么材料都可以用來加工.

Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 配置使用美國 KRI Φ20cm 考夫曼離子源, 蝕刻均勻性: ±5%, 刻蝕速率: 20 nm/min, 樣品臺: 直接冷卻(水冷), 0~90度旋轉, 因此射頻角度可以任意調整, 蝕刻可以根據需要做垂直, 斜面等加工形狀.
 

Hakuto 離子蝕刻機主要優點:

1. 干式制程的微細加工裝置, 使得在薄膜磁頭, 半導體元件, MR sensor 等領域的開發研究及量產得以廣泛應用.

2. 物理蝕刻的特性, 無論使用什么材料都可以用來加工, 所以各種領域都可以被廣泛應用.

3. 配置使用美國考夫曼離子源

4. 射頻角度可以任意調整, 蝕刻可以根據需要做垂直, 斜面等等加工形狀.

5. 基板直接加裝在直接冷卻裝置上, 所以可以在低溫環境下蝕刻.

6. 配置公轉自轉傳輸機構, 使得被蝕刻物可以得到比較均勻平滑的表面.

7. 機臺設計使用自動化的操作流程, 所以可以有非常友好的使用生產過程.
 

Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J技術參數

離子蝕刻

Φ4 inch X 12片

基片尺寸

Φ4 inch X 12片
Φ5 inch X 10片
Φ6 inch X 8片

樣品臺

直接冷卻,水冷

離子源

Φ20cm 考夫曼離子源


Hakuto 離子蝕刻機 20IBE-J 通氬氣 Ar 不同材料的蝕刻速率:
NS離子蝕刻機

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www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

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